Двигуни, призначені для застосування у вакуумі, в першу чергу класифікуються на основі конкретного вакуумного середовища, режиму роботи та вимог до обладнання. Поширені типи включають вакуумні двигуни постійного струму, вакуумні безщіточні двигуни, вакуумні крокові двигуни та вакуумні серводвигуни. На відміну від стандартних двигунів, ці агрегати повинні враховувати такі проблеми, як погіршення розсіювання тепла, виділення газу з матеріалу та зміни ізоляційних властивостей у вакуумі; отже, вони вимагають вищих стандартів у структурному проектуванні та виборі матеріалів. Кожен тип двигуна пропонує відмінні характеристики щодо швидкості обертання, крутного моменту, точності керування та стабільності роботи, що вимагає процесу вибору, який враховує конкретні умови роботи обладнання.
Вакуумні двигуни постійного струму мають відносно просту конструкцію та пропонують зручне регулювання швидкості, що робить їх придатними для вакуумного обладнання, яке вимагає безперервної роботи, але має скромні вимоги до керування. У вакуумних безщіткових двигунах відсутні традиційні щітки та комутатори, що призводить до мінімального механічного зносу під час роботи, що робить їх ідеальними для середовищ із суворими стандартами чистоти. Вакуумні крокові двигуни в основному використовуються в обладнанні, яке потребує точного контролю кутів обертання та переміщення, наприклад у вакуумних клапанах і прецизійних механізмах передачі. Для застосувань, що вимагають високої продуктивності з точки зору швидкості руху, позиціонування та точності відгуку, можна використовувати вакуумні серводвигуни; коли вони інтегровані з системою керування, вони забезпечують високоточне управління рухом.
Вибір двигуна для застосування у вакуумі вимагає не тільки вимірювання потужності та швидкості; також необхідно враховувати критичні параметри, такі як рівень вакууму, робоча температура, умови навантаження та допустима швидкість виділення газу. Якщо обладнання працює в умовах високого або надвисокого вакууму протягом тривалого часу, особливу увагу слід приділяти матеріалам двигуна, ізоляційним структурам і методам розсіювання тепла, щоб запобігти проблемам з роботою, викликаним виділенням газу з матеріалу або недостатнім охолодженням. Тому, оскільки двигуни, які використовуються в різних вакуумних системах, відрізняються, відповідний тип двигуна та структуру слід вибирати на основі конкретних умов експлуатації, щоб забезпечити оптимальний баланс ефективності роботи, стабільності та терміну служби.
